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1、真空泵的工作壓強應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強

要求。如：真空鍍膜要求1×10-5mmHg的真空度，選用的真空泵的

真空度至少要5×10-6mmHg。通常選擇泵的真空度要高于真空設(shè)備

真空度半個到一個數(shù)量級。
　　
2、正確地選擇真空泵的工作點。每種泵都有一定的工作壓強

范圍，如：擴散泵為10-3~10-7mmHg，在這樣寬壓強范圍內(nèi)，泵的

抽速隨壓強而變化，其穩(wěn)定的工作壓強范圍為5×10-4~5×10-

6mmHg。因而，泵的工作點應(yīng)該選在這個范圍之內(nèi)，而不能讓它在

10-8mmHg下長期工作。又如鈦升華泵可以在10-2mmHg下工作，但其

工作壓強應(yīng)小于1×10-5mmHg為好。
　　
3、真空泵在其工作壓強下，應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)

生的全部氣體量。
　　
4、正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有

時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補充

才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦，

而三極型濺射離子泵，(或二極型非對稱陰極濺射離子泵)對氬有一

定的抽速，兩者組合起來，便會使真空裝置得到較好的真空度。另

外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預(yù)真空;有的真空泵出

口壓強低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。
　　
5、真空設(shè)備對油污染的要求。若設(shè)備嚴(yán)格要求無油時，應(yīng)該

選各種無油泵，如：水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵

等。如果要求不嚴(yán)格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，

如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達(dá)到清潔真空要求。
　　
6、了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無顆�；�

塵，有無腐蝕性等。選擇真空泵時，需要知道氣體成分，針對被抽

氣體選擇相應(yīng)的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，

應(yīng)該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設(shè)備，如冷凝器、除塵器等。
　　
7、真空泵排出來的油蒸氣對環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允

許有污染，可以選無油真空泵，或者把油蒸氣排到室外。
　　
8、真空泵工作時產(chǎn)生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響。若

工藝過程不允許，上海正奧泵業(yè)制造有限公司應(yīng)選擇無振動的泵或者采取防振動措施。
　　
9、真空泵的價格、運轉(zhuǎn)及維修費用。水環(huán)式真空泵的選擇